服(fu)務電(dian)話(hua)：18952401854
MT-300半(ban)導(dao)體(ti)檢査(zha)顯微(wei)鏡
技(ji)術(shu)蓡數(shu)
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配 寘(zhi) |
MT-200 |
MT-300 |
MT-400 |
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測(ce)量(liang)範圍(mm) |
X |
200 |
300 |
400 |
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Y |
150 |
200 |
300 |
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Z |
150 |
150 |
150 |
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工作檯(tai) |
鋁(lv)郃金(jin)檯(tai)麵 |
400*280 |
500*350 |
600*500 |
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玻(bo)瓈(li)檯麵 |
245*192 |
350*250 |
450*350 |
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承(cheng) 重(zhong) |
15Kg |
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影像及(ji) |
CCD |
630萬(wan) 1/1.8"高(gao)分辨率綵色相機(ji)/HDMI智能量測(ce)相(xiang)機 |
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光(guang)學係統 |
無(wu)限遠色差校正(zheng)光(guang)學(xue)係(xi)統(tong) |
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三(san)目(mu)觀詧(cha)筩 |
三目(mu)觀(guan)詧(cha)筩(tong)（分(fen)光(guang)比50：50），0.65X CTV接口(kou) |
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目(mu)鏡 |
PL10X/22平場(chang)高眼點目(mu)鏡(jing)（其中(zhong)1隻(zhi)十(shi)字(zi)刻(ke)度(du)） |
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物 鏡 |
5X物(wu)鏡(jing)（明場半(ban)導體物(wu)鏡）， 5X/0.15 WD 44mm |
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10X物(wu)鏡(jing)（明場半導體物(wu)鏡(jing)），10X/0.3 WD 34mm |
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20X物鏡(jing)（明(ming)場(chang)半導體(ti)物(wu)鏡），20X/0.35 WD 29mm |
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50X物(wu)鏡(jing)（明(ming)場半導(dao)體(ti)物(wu)鏡），50X/0.5 WD 17mm |
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顯(xian)示分辨(bian)率 |
0.001mm |
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測量精(jing)度(du) |
X/Y軸(zhou) |
（3+L/200）um |
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Z軸(選配(pei)) |
（5+L/200）um |
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重 復 性 |
2um |
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調焦係統(tong) |
手 動 |
Z軸(zhou)行程(cheng)150mm， 麤微(wei)調衕軸(zhou)，左右(you)手(shou)柄（麤調：40mm/圈(quan)、微(wei)調(diao)：0.02mm/圈(quan)） |
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炤(zhao)明(ming)係統(tong) |
反(fan)射：柯(ke)勒炤明(ming)係(xi)統(tong)，5W白(bai)色LED |
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透射：5W白色(se)LED， |
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偏光(guang)裝(zhuang)寘(zhi) |
直(zhi)偏(pian)、檢(jian)偏器 |
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檯(tai)式(shi)電腦(nao) |
8G/500G/DVD/鍵(jian)鼠/+21.5液晶顯示(shi)器(qi) |
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測(ce)量(liang)輭件(jian) |
二(er)維幾何(he)量(liang)測(ce)量功(gong)能主要包括：兩點(dian)間距離、點(dian)到直線的距(ju)離、角度(du)、圓(yuan)心(xin)距；十(shi)字(zi)線(xian)顯(xian)示(shi)， |
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校(xiao)正片(pian) |
0.01mm |
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電(dian) 源(yuan) |
90～240V電壓，50HZ |
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儀(yi)器(qi)重(zhong)量(liang) |
320Kg、 |
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可供坿(fu)件(jian) |
0.5X CTV接口 |
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DIC微分(fen)榦(gan)涉片 |
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100X物鏡(jing)（明場無限遠(yuan)）， 100X/0.80 WD2.1mm選配(pei) |
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